瑞德13B平面雙面拋光研磨機(jī)，寶石玻璃硅片半導(dǎo)體石英陶瓷加工

13B雙面研磨機(jī) 主要技術(shù)參數(shù) 研盤尺寸 860*280*30mm 大研磨直徑 300 游輪參數(shù) 英制Dp12,Z=152 小研磨厚度 0.60mm/100mm 大研磨厚度 20mm 下研盤轉(zhuǎn)速 0-50rpm 。

主要技術(shù)參數(shù)

研盤尺寸 ?860×?280×30mm

大研磨直徑 ?300

游輪參數(shù) 英制Dp12,Z=152

小研磨厚度 0.60mm/?100mm

大研磨厚度 20mm

下研盤轉(zhuǎn)速 0-50rpm

主電機(jī)參數(shù) 7.5Kw, 380V, 1450rpm

砂泵參數(shù) 0.25Kw, 100L/Min.

氣源壓力 0.5-0.6Mpa

設(shè)備外形尺寸 (L×W×H)1600×1000×2700mm

重量 3000Kg

精度指標(biāo)

研磨盤平面度 0.08mm

修正輪修研后平行平面度 ≤0.05mm

加工能力

磨片直徑 ?75mm, ?100mm

單片承片量 8片/?75mm,5片/?100mm

整盤承片量 40片/?75mm,25片/?100mm

游星片數(shù)量 5個(gè)</a>