瑞德15B雙電機(jī)拋光研磨機(jī)晶體玻璃硅片半導(dǎo)體

一、產(chǎn)品用途
本機(jī)主要用于硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片???、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨拋光，也可用于其它硬脆材料的雙面研磨拋光加工。
二、主要特點(diǎn)
???變頻器配合三相異步電動(dòng)機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的軟啟動(dòng)、軟停止等功能，調(diào)速穩(wěn)定、沖擊小。
???采用雙電機(jī)同步拖動(dòng)，中心齒輪的變速（即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn)）范圍廣，工藝調(diào)整方便，同一加工過(guò)程可同時(shí)設(shè)置二十段速度參數(shù)。
???采用PLC控制，PT人機(jī)界面顯示設(shè)備各項(xiàng)運(yùn)行參數(shù)，壓力采用電-氣比例閥閉環(huán)控制，壓力控制穩(wěn)定，同一加工過(guò)程可同時(shí)設(shè)置二十段壓力參數(shù)，地滿足了用戶的工藝要求。
???本機(jī)設(shè)計(jì)從結(jié)構(gòu)、傳動(dòng)方式和運(yùn)轉(zhuǎn)工作參數(shù)即速度匹配方面精心研究了國(guó)內(nèi)外新同類設(shè)備的特點(diǎn)，吸取了國(guó)內(nèi)眾多用戶使用的成功經(jīng)驗(yàn)。本著提高設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)精度，有利于裝配和維修，并充分考慮了設(shè)備使用的可靠性、實(shí)用性、互換性和操作方便性。
???用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓（輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變），選用荷重傳感器時(shí)時(shí)檢測(cè)工件受力，并將信號(hào)反饋給控制單元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制，壓力控制。
???該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯六套不同的工藝參數(shù)（壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等），以供操作工調(diào)用。
???該機(jī)具有研磨盤自動(dòng)稱重功能，以此配合研磨壓力設(shè)定，可自動(dòng)消除由于研磨盤磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而了同樣研磨工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時(shí)間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量）的研磨效率長(zhǎng)久不變。
???主要外購(gòu)元件采用進(jìn)口配套，了設(shè)備的使用可靠性要求。
三、主要技術(shù)參數(shù)
???研磨盤規(guī)格（外徑×厚度） Φ1020mm×45mm
???游星輪規(guī)格 Φ380mm
???多安裝游星輪數(shù)量 7個(gè)
???研磨工件厚度：
a.小厚度 0.20mm
b.大厚度 20 mm
???下研磨盤轉(zhuǎn)速 0～60rpm（無(wú)級(jí)可調(diào)）
???太陽(yáng)輪高轉(zhuǎn)速 30rpm
???太陽(yáng)輪低轉(zhuǎn)速 4rpm
???氣缸有效行程 450mm
???主電機(jī)參數(shù) 7.5KW 1440rpm
???太陽(yáng)輪電機(jī)參數(shù) 1.5KW 1400rpm
???設(shè)備外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 1900mm×1550mm×3250mm
???設(shè)備質(zhì)量 約4000Kg
四、主機(jī)精度
???下研磨盤端面跳動(dòng) 0.05mm
???上下研磨盤平面度 0.02mm
???太陽(yáng)輪徑向跳動(dòng) 0.06mm
???齒圈徑向跳動(dòng) 0.12mm
五、加工精度
???修正輪修研后平行平面度 0.0035mm
???加工件平面平行度 0.003mm/Φ100mm</a>