超邁光電Research手套箱蒸發(fā)鍍膜可定制

形式：箱式一體機，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不，一體機系統(tǒng)，可連接單排雙工位手套箱，中間用DN150真空插板閥隔斷。

真空系統(tǒng)：極限真空5X10-4Pa，主泵為復合分子泵，抽速600L/S,前級泵配置直聯泵，主閥匹配。

真空測量：配數字復合真空計，均采用防爆金屬測量規(guī)。

工件架系統(tǒng)?？蛻粜枨蠖ㄖ疲煞湃?英寸掩模版，轉速3～30rpm變頻可調。

烘烤系統(tǒng)。匹配數字功率控制器和PID控制模塊，高烘烤溫度300℃。

電阻蒸發(fā)源：水冷電極引入，2套電阻蒸發(fā)源，蒸發(fā)功率5KW，配置8KWE型電子槍1套，

膜厚測試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀，可與擋板聯動。

控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng)，工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC，能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng)，采用聲光報警。

輔助系統(tǒng)：配置冷水機1臺，空壓機1臺。

說明：本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺，單邊4個手套，有效長度1.8米.