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分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部，是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件，分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數(shù)的好壞，分子泵的發(fā)展直接影響著氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點(diǎn)討論分子泵轉(zhuǎn)速對(duì)氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴(kuò)散型檢漏儀逆擴(kuò)散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間，被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級(jí)耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力，將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級(jí)耐壓，一般不超過(guò)50Pa，遠(yuǎn)達(dá)不到高壓檢漏的要求。

1980年國(guó)際上出現(xiàn)一種稱之為“復(fù)合型”的分子泵，現(xiàn)今，其前級(jí)耐壓很高已達(dá)2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵，可直接實(shí)現(xiàn)在高的試件壓力下的檢漏。用復(fù)合分子泵構(gòu)成的一種可實(shí)現(xiàn)高壓強(qiáng)下的檢漏儀，其工作過(guò)程如下。當(dāng)被檢試件抽至1500Pa，V1開，氨氣逆擴(kuò)散穿越整個(gè)分子泵進(jìn)入質(zhì)譜室，實(shí)現(xiàn)儀器的逆擴(kuò)散檢漏。

若能將試件抽至200Pa以下，則V2關(guān)閉，V3打開，從泵的中間口逆擴(kuò)散至質(zhì)譜室，若能將試件抽至40Pa以下，則V3關(guān)閉，V4打開，氦氣從泵的上部逆擴(kuò)散進(jìn)入質(zhì)譜室，或直接進(jìn)入質(zhì)譜室(常規(guī)檢漏）。這種從高壓檢大漏到實(shí)現(xiàn)檢微漏的全自動(dòng)過(guò)程，愛(ài)發(fā)科分子泵UTM-50維修，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個(gè)狀態(tài)下的閥門流導(dǎo)和泵的壓縮比等參數(shù)都是固定不變的，儀器只需1次校準(zhǔn)即可。

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真空近年來(lái)陸續(xù)發(fā)布了多個(gè)型號(hào)的TwisTorr分子泵，該系列把分子泵的典型工作范圍從高真空擴(kuò)展到了超高真空。近日，針對(duì)一些對(duì)壓縮比要求不高而氣體流量很大的應(yīng)用，真空又發(fā)布了譜拓系列分子泵。該系列包含305FSQ、305-ICQ，以及兩個(gè)帶有中間抽氣口的型號(hào)305SF和305-ICSF。305FSQ和305SF通過(guò)獨(dú)立的控制器供電和控制，而305-ICQ和305-ICSF具有集成于泵身的控制器，只需要為其提供24V電源即可工作。

很高450sccm的氮?dú)饬髁?/p>

305FSQ和305SF可以處理很大450sccm的氮?dú)饬髁?，和很?00sccm的氫氣/氦氣流量，在同等抽速和功率的產(chǎn)品中，是要求高氣體流量的科研和工業(yè)應(yīng)用的理想選擇。而具有集成式控制器的305-ICQ和305-ICSF也可以處理很大380sccm的氮?dú)饬髁?，和很?00sccm的氫氣/氦氣流量，可以應(yīng)對(duì)絕大多數(shù)的儀器應(yīng)用。

改進(jìn)的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)

譜拓系列分子泵擁有的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)：比其他305分子泵增加了一級(jí)渦輪葉片，并采用了與其他305分子泵不同的牽引級(jí)。牽引級(jí)是專為大氣載而設(shè)計(jì)的，它擁有更寬大的氣體通道，解決了其他牽引級(jí)結(jié)構(gòu)在高負(fù)載長(zhǎng)期運(yùn)行時(shí)發(fā)熱集中的問(wèn)題，可以承受持續(xù)的大氣體流量，并可將前級(jí)耐壓提高至16mbar。

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脈沖激光沉積系統(tǒng)PLD客戶案例：某大學(xué)電信系脈沖激光沉積系統(tǒng)

1.系統(tǒng)功能：主要用于Mn氧化物等復(fù)雜材料膜。

2.渦輪分子泵真空度要求:真空度

3.樣品尺寸:6英寸

4.基片旋轉(zhuǎn)，加熱溫度：750℃

5.膜生長(zhǎng)控制模式:鍍率/厚度/時(shí)間控制模式

真空系統(tǒng)配置:超高真空系統(tǒng)配置:渦輪分子泵400

接口:DN100CF-F

極限真空:

氮?dú)鈮嚎s比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:

氮?dú)鈮嚎s比:>1X1011隔膜泵MVP040

口徑:G1/4”

極限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S，轉(zhuǎn)速很高90，000rpm，極限真空很大1E-11mbar，對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比，實(shí)踐證明渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到100，000小時(shí)!分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用，推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應(yīng)用>>

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