二手SPEEDFAM半導體(12B-5L)雙面研磨機

工廠轉(zhuǎn)讓SPEEDFAM(12B-5L)雙面研磨拋光機

產(chǎn)品用途
本機主要用于硅片、石英晶體片、鍺片、寶石片、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的雙面精密研磨，也適用于其它片狀金屬、非金屬零件的平面研磨。
主要特點
本機采用變頻調(diào)速，PLC控制、觸摸屏參數(shù)輸入，圖形顯示各項運行參數(shù)，上缸壓力采用電氣比例閥，閉環(huán)反饋控制，壓力等級設定方便、、操作簡單易行，工作可靠穩(wěn)定。
整機精度指標
1. 研磨盤平面度:0.02mm
2. 修正輪修研后平行平面度:≤0.0035mm
3. 加工件平面平行度:≤0.003mm/φ100mm
技術(shù)參數(shù)：
研盤尺寸:φ850mm×φ272mm×40 mm
大研磨直徑:φ270mm
游輪參數(shù):英制 Dp12 Z=150
小研磨厚度:0.35mm/φ100mm
大研磨厚度:20mm
下研盤轉(zhuǎn)速 0-50rpm
主電機參數(shù)：7.5kw 380V 1450rpm
砂泵參數(shù)：0.25Kw 100L/mm
氣源壓力：0.5-0.6Mpa
設備外形尺寸：（長×寬×高） 1600mm×1200mm×2700mm
質(zhì)量：約2500kg
加工能力
磨片直徑：φ75mm，φ100mm，
單個游星片承片量：8片/φ75mm 5片/φ100mm
總承片量：40片/φ75mm 25片/φ100mm
地址:廣東東莞市茶山鎮(zhèn)增埗村麒麟城工業(yè)區(qū)新益大廈宏誠光學