日本Fujikura藤倉無塵室對應(yīng)超精密減壓閥RS-8-2-KARS-4-2-KA

日本Fujikura藤倉無塵室對應(yīng)超精密減壓閥RS-8-2-KARS-4-2-KA

壓力控制方式是因?yàn)椴捎脻L動膜片與計(jì)量膜合的伺服平衡方式，可以實(shí)現(xiàn)無塵室對應(yīng)的精密的壓力調(diào)整的超精密減壓閥。

無塵規(guī)格

因?yàn)椴科肥遣讳P鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產(chǎn)生的雜質(zhì)非常少。

歧管安裝對應(yīng)

歧管連接配管可能。

排氣口裝備

因?yàn)榕艢饪?，溢流孔，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。



可以實(shí)現(xiàn)感度0.1%F.S.,反復(fù)再現(xiàn)性±0.1%F.S.的控制。

規(guī)格

RS-4 RS-8
使用流體 清潔壓縮空氣
壓力設(shè)定范圍 （MPa） 0.014～0.42 0.014～0.84
進(jìn)口壓力設(shè)定范圍 （MPa） 1. Max.
排氣的有無 有
反復(fù)再現(xiàn)性 （％.F.S） ±0.1以內(nèi)
感度 （％.F.S） 0.1以內(nèi)
空氣消費(fèi)量 （Nl/min） 3.7以內(nèi)
使用溫度范圍 （℃） 5～60
配管連接口徑 Rc 1/4、歧管型
壓力表連接口徑 （Rc（PT）） 1/4
支架 標(biāo)準(zhǔn)配置（歧管型以外）
質(zhì)量 （kg） 0.41