二手美國ZYGO激光平面干涉儀光學檢測干涉儀球面檢測干涉儀

配置：美國ZYGO平面干涉儀,100MM激光干涉儀主體+100MM平面鏡頭+立試支架 +新版本測量軟件（帶手柄帶顯示器）開機就可以用的

美國ZGYO干涉儀

指標

1.測量技術(shù)：機械相移模式QPSI

經(jīng)典機械相移干涉模式PSI

2.激光光源：大功率穩(wěn)頻氦一氖激光，Ⅲa級

3.波長：633 nm

4.頻率穩(wěn)定度 lt;0.0001 nm

5.相干長度 gt;100 m

6.5.3M像素相機 1.4M像素相機（可選）

分辨率：2304*2304 分辨力：1200*1200/600*600

幀速：210Hz 幀速：50Hz/82Hz

數(shù)位：8位 數(shù)位：10位

快門時間：200us-10ms 快門時間>12us

7.數(shù)據(jù)采集時間： 130-300ms

8.放大： 1—50×數(shù)字式（選1.2KCCD時可選

配1×，1.7×，3×分立方放大）

9.偏振： 接近圓偏振（1.2:1或者更好）

10.光瞳調(diào)焦范圍： 4英寸：±2.5m；6英寸：±5.5m

11.RMS重復性 <0.06nm，/10.00（2q）

12.RMS波前重復性 <0.35nm,/1800（mean+2q）

像素峰值偏差 <0.5nm,/1200（99.5th%）
平面和球面的面形檢測

平面楔角測量、直角棱鏡的直角偏差和任意角度的加工偏差

光學材料均勻性測量

角錐角度和面形偏差測量

盤片質(zhì)量檢驗

三平板測量

雙球面測量

靜態(tài)干涉條紋判斷

澤尼克多項式分析

球面曲率半徑測量

GPI系列***激光干涉測量儀的主機為Fizeau型干涉儀,具有光學器件少,精度高,易于使用等特點。光源為低功率氨氖激光,光束擴展為1英寸(25mm)至 32英寸(810mm)直徑,自干涉儀輸出。安裝在輸出孔之前的標準透射器件將部分激光反射回干涉儀,形成參考波面。余下激光穿過透射器至樣品。根據(jù)光束在樣品表面直接反射或透射后再反射回主機,形成測量波面。根據(jù)參考波面和測量波面干涉產(chǎn)生的干涉條紋,可以測量樣品的表面面形和傳輸波面質(zhì)量,樣品為平面或球面。如果為非平面和非球面,則需通過加裝補償片等手段進行測量。

GPI系列干涉儀采用***移相技術(shù)和高分辨率CCD接收器件(可達 2048 X 2048),配合功能強大的MetroPro?軟件可以</a>