真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術,是表面工程技術領域的重要組成部分。真空鍍膜技術是利用物理、化學手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜,從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導磁、絕緣和裝飾等許多優(yōu)于固體材料本身的性能,達到提高產品質量、延長產品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術經濟效益的作用。因此真空鍍膜技術被譽為發(fā)展前途的重要技術之一、并已在高技術產業(yè)化的發(fā)展中展現出誘人的市場前景。這種新興的真空鍍膜技術已在國民經濟各個領域得到應用。
真空鍍膜技術是真空應用技術的一個重要分支,它已廣泛地應用于光學、電子學、能源開發(fā)、理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、表面科學以及科學研究等領域中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發(fā)鍍.濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相沉積法。如果從真空鍍膜的目的是為了改變物質表面的物理、化學性能的話。這一技術又是真空表面處理技術中的重要組成部分。
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