TigerOptics水分儀HALO-H2O-RP

HALO 水分測(cè)定儀為用戶提供了無(wú)以倫比的準(zhǔn)確性、可靠性、響應(yīng)速度，而且易于操作。HALO 水分測(cè)定儀采用了TigerOptics 專利一個(gè)非常全面和經(jīng)濟(jì)的分析儀設(shè)計(jì) ~（CRDS）光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析。這個(gè)多功能分析儀，只需一臺(tái)設(shè)備,允許用戶測(cè)量惰性氣體，腐蝕性和有毒氣體中的水分。用戶無(wú)需間接周期傳感器的維護(hù)程序，無(wú)需量程校正，無(wú)需凈化器更換和無(wú)需泵重建。HALO-H2O-RP 不同于HALO-H2O，它集成了一個(gè)上游壓力控制器，允許在應(yīng)用程序中，樣品壓力范圍從50 托 - 15psig 的操作。這些應(yīng)用程包括半導(dǎo)體晶圓處理、廢氣排出氣體監(jiān)測(cè)。

運(yùn)作范圍：0-20 ppm 測(cè)量下限：2 ppb 外形尺寸（高x 寬x 深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″
靈敏度: 1 ppb 重量: 15 千克（33 磅）
精度(取大值)：讀數(shù)的±4%或±1ppb
響應(yīng)速度: 95%的響應(yīng) 少于3 分鐘
環(huán)境溫度：+10°C ~ +40°C
存儲(chǔ)溫度：-10°C ~ +50°C
所用材料: 316L 不銹鋼（可選哈氏合金） 壓力：50 torr -15 psig
接液部件: 10 Ra 流量：可達(dá)1,000 sccm
氣體的連接：1/4” VCR 入氣口及出氣口 氣體樣本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體
泄漏測(cè)試：< 2×10-8 mbar?l/min 氣體溫度：低于60°C
警報(bào)指示燈: 用戶設(shè)置 認(rèn)證 : CE: LVD & EMC
電源電壓: 90-240 VAC, 50/60 Hz 測(cè)量原理：（CRDS）光腔振蕩衰減光譜
消耗功率：40W 以下 特許: 美國(guó)專利＃5528040, 其他專利申請(qǐng)中
輸出信號(hào)：記錄: 0-5 VDC / 4-20mA 隔離
通信: RS-232（可選無(wú)線）
用戶界面：5.6“LCD 觸摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422