供應(yīng)OX400橫河電機(jī)Yokogawa臺(tái)式微量氧氧氣分析儀

OX400橫河電機(jī)Yokogawa臺(tái)式微量氧氧氣分析儀
OX400-低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa
OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱
OX400的主要技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量對(duì)象
惰性氣體中的氧氣濃度（易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測(cè)量系統(tǒng)
氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法
泵式、抽提式等
樣氣條件
流速：200±25ml/min（僅適用于傳感器）
溫度：0～50℃（無結(jié)露）
濕度：無結(jié)露
壓力：0～300PaG
容許壓力：30kPaG
測(cè)量量程
0～10ppm O2至0～100vol% O2
輸出量程
自動(dòng)：
0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～（默認(rèn)）
固定：
設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～
部分：
可設(shè)置下限值或上限值
模擬輸出
2路輸出，路：4～20mA DC（負(fù)載電阻550Ω），二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC（負(fù)載電阻：10kΩ或更大）
接點(diǎn)輸出
報(bào)警輸出2點(diǎn)：
錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn)
量程范圍輸出1點(diǎn)：
接點(diǎn)輸出
多選擇器（選配件）：
流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出
接點(diǎn)輸入
1點(diǎn)：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷
故障：
傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止
報(bào)警：
加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，超限
串口通信
RS-232，38400 bps
標(biāo)定方法
（1）3點(diǎn)：10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點(diǎn)：可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點(diǎn)，（4）空氣標(biāo)定
暖機(jī)時(shí)間
20分以內(nèi)
電源
100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz
功耗
100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA
尺寸
213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質(zhì)量
約5kg
管線連接
氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件
安裝條件：
室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度：
0～40℃，無結(jié)露
環(huán)境濕度：
5～85%RH
儲(chǔ)存溫度：
-5～50℃
重復(fù)性
±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或）
線性
±2%F.S.
±3%F.S.（0～100ppm或更低）
響應(yīng)時(shí)間
90%響應(yīng)
10秒內(nèi)（0～1%或更高）
30秒內(nèi)（小于0～1%）
漂移
±2%F.S./周