光學(xué)平臺高度 | 800mm |
臺面厚度 | 50mm-300mm可選 |
工作面板材料、厚度 | 304不銹鋼、面板6mm |
蜂窩內(nèi)芯 | 米字或井字內(nèi)芯 |
布孔 | 公制M6、25mm×25mm等間距陣列 |
臺面平面度 | ≤0.05mm/m2 |
平臺臺面粗糙度 | ≤0.8μm,臺面亞光處理 |
平臺振幅 | 5um |
固有頻率 | x方向:3.5Hz~6Hz y方向:3.5Hz~6Hz |
負荷承載 | 800kg/㎡ |
水平調(diào)節(jié)方式 | 手動調(diào)節(jié) |
調(diào)節(jié)高度 | ±15mm |