射頻探針臺的晶圓探針臺制造商廠家

CBTZ半自動探針臺
主要技術參數(shù)

可測片型：3 寸、 4寸、5寸，6寸、8寸

測試硅片單元尺寸：20—200 mil

定位精度：≤ ±0.01mm/110mm

自動對準精度：±0.01mm

誤測率：≤ 1 ‰

全自動對位時間：≤ 15 s

測試速度 45 mil 5.0 pcs/s

50 mil 4.6 pcs/s

87 mil 4.2 pcs/s

步進分辨率：0.001

Z向行程：0～5mm 可調

承片臺轉角θ調節(jié)范圍：±20o