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按原理和結(jié)構(gòu)特點歸類（1）腳踏式容積真空泵靠分子熱運動使泵腔工作中容積周期時間轉(zhuǎn)變來完成抽真空功效的是機核式容積真空泵。歸屬于這種泵的有往復真空泵、轉(zhuǎn)盤式真空泵(包含旋內(nèi)置式、螺桿式壓縮機、羅次式、液環(huán)式等)。這種泵中除機械設(shè)備增壓水泵外，一般均可獨立應用。

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真空泵配件中泵油的光滑性 摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與光滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；流體光滑劑對摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節(jié)約能源，萊寶真空泵過濾器，減少磨損，以延長機械壽命。

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（3）高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵歸屬于高真空泵。廣泛的高真空泵有各式各樣擴散泵及分子泵等。（4）超高真空泵極限壓力低于10-5Pa的真空泵歸屬于超高真空泵。超高真空泵重要有各式各樣離子泵、低溫泵等。