廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華磁懸浮渦輪泵養(yǎng)護(hù)維修
Leybold NT340M 德國(guó)萊寶磁懸浮分子泵控制器輸入電壓100/120/220/240V,Leybold NT340M輸出電壓50VDC,Leybold NT340M 電流7A,適用于:Leybold MAG340M、MAG340MC、MAG340MCT 、MAG341MCT、 MAG400、MAG400C等磁懸浮分子泵使用。
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潽拓——愛德華磁懸浮渦輪泵養(yǎng)護(hù)維修,分子泵
萊寶Leyboldturbovac MAG W 3200渦輪分子泵
TURBOVAC MAG W 3200C/CT常用于半導(dǎo)體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導(dǎo)體工業(yè),愛德華磁懸浮渦輪泵養(yǎng)護(hù)維修,渦輪分子泵用于以下應(yīng)用場(chǎng)合:- 蝕刻;- 濺射;-離子注入;- CVD;-光刻。這些應(yīng)用中,經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設(shè)備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對(duì)于金屬蝕刻,渦輪分子泵的泵內(nèi)可能發(fā)生沉積現(xiàn)象,選用帶溫度控制的擴(kuò)展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG3200可以防止這種情況。與機(jī)械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優(yōu)勢(shì)在于氣體流量較大時(shí)可以防止軸承過熱,能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對(duì)磁懸浮軸承的損壞。
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德國(guó)萊寶 leybold tw701 分子泵維修Leybold Tw701
廣州潽拓光電科技有限公司維修萊寶分子泵:
維修/銷售-德國(guó)萊寶 Oerlikon Leybold TURBO Pump Controllers 分子泵驅(qū)動(dòng)器、分子泵電源、分子泵驅(qū)動(dòng)器:
NT10 、NT12 、NT13、 NT20 、NT50 、NT151、 NT360、 NT220、 NT340、
NT450 、NT1500 、NT1000 、TDS、 TD300 、TD400 、TD20 、NT220、
NT340等