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熱傳導(dǎo)真空計為什么易老化？

答：因熱絲長期工作在高溫下，受氣體作用易氧化變細(xì)，或?qū)е聼峤z本身結(jié)晶構(gòu)造變化，英?？嫡婵沼嫳ｐB(yǎng)咨詢，會改變熱絲的電阻，造成零點(diǎn)的漂移，這是屬于熱絲本體的。熱絲表面因會吸附氣體而改變了表面的適應(yīng)系數(shù)，即熱交換的機(jī)制，造成靈敏度的變化。以上均屬于老化現(xiàn)象。

電離真空計的工作原理？答：利用電子對氣體的碰撞產(chǎn)生電離作用，而電離的效果是與氣體壓力有關(guān)的。當(dāng)電子電流一定時，電離形成的離子流正比于壓力，故通過離子流間接測量氣體的壓力。

什么是電離真空計的外控接法？有何好處？答：如規(guī)管的柵極作為電子加速極，而板極作為離子收集極，此種接法即為外控接法。其好處是電子在加速中不易被柵絲截獲，并受燈絲和板極的電位排斥，可以在燈絲與板極的空間，反復(fù)穿過柵極來回振蕩，如此，可顯著提高測量的靈敏度。

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inficon電容薄膜真空計作為inficon電容式傳感器的一種，能夠滿足深空探測、空氣動力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y量儀器測量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求，具有廣泛的應(yīng)用前景。inficon電容薄膜真空計包含真空規(guī)管和測量電路兩個部分。其中，真空規(guī)管將真空度轉(zhuǎn)化成電容量，測量電路對電容量進(jìn)行處理得到真空度的值。

inficon電容薄膜真空規(guī)管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。inficon電容薄膜真空規(guī)管的敏感電容具有不同結(jié)構(gòu)，包括單側(cè)電極結(jié)構(gòu)、雙側(cè)電極結(jié)構(gòu)以及靜電力平衡結(jié)構(gòu)，不同結(jié)構(gòu)的敏感電容其電容變化量不同。inficon電容薄膜真空計要求測量電路功耗低、易集成，考慮到寄生電容和電磁干擾及溫度的影響，準(zhǔn)確測量inficon電容薄膜真空規(guī)管的微小電容是一個難題。

針對不同結(jié)構(gòu)的敏感電容，提出了多種微小電容測量方法。1.單側(cè)電極微小電容測量敏感電容為單側(cè)電極的inficon電容薄膜真空規(guī)管結(jié)構(gòu)簡單，英?？嫡婵沼嫳ｐB(yǎng)價格，在inficon制造及封裝工藝下易于實(shí)現(xiàn)。如圖1所示，感壓薄膜上的電極與硅基底上的電極組成了一個隨真空度變化而變化的敏感電容。由于只存在單一的敏感電容，測量電路中往往需要引入一電容值與敏感電容初值相等的固值參考電容。

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石英真空計應(yīng)用

在風(fēng)洞中的應(yīng)用

風(fēng)洞模型測壓試驗(yàn)是獲得氣動載荷分布和氣動特性的重要方法之一。常規(guī)高速超聲速風(fēng)洞測壓在高于2kPa高壓已能夠獲得較好的精度，但在1kPa以下壓強(qiáng)暫無法獲得高精度的測量結(jié)果。而模型背風(fēng)區(qū)壓強(qiáng)測量，廣州市英福康真空計保養(yǎng)，測力試驗(yàn)底部壓強(qiáng)測量，低密度風(fēng)洞測壓試驗(yàn)等均存在大量微壓測量任務(wù)。

用石英真空計已能測量0.2kPa-2kPa之間的壓強(qiáng)。目前在風(fēng)動中測量壓強(qiáng)要用一細(xì)長管道將氣體引出，管道長為1.3m，內(nèi)徑為0.9mm。風(fēng)動中測量壓強(qiáng)是要測量壓強(qiáng)的分布，英?？嫡婵沼嫳ｐB(yǎng)售后，即多點(diǎn)測量，這些是與通常的壓強(qiáng)測量不同的。多點(diǎn)測量是將石英晶振安裝在一個集成箱中，由細(xì)長管道通到被測量的位置。晶振測量電路將測量到的晶振電壓與電流送到統(tǒng)一的主控板，該主控板就存有32個位置的壓強(qiáng)值。

由于在被測壓強(qiáng)位置與晶振之間存在細(xì)長管道對測量會有影響，其一是使時間常數(shù)增大，讀數(shù)變化緩慢，實(shí)驗(yàn)測量在300Pa壓強(qiáng)時，時間常數(shù)約55秒，在風(fēng)洞測量中此時間常數(shù)仍可接受。其二是細(xì)長管道會使測量下限升高。因?yàn)榫д裎恢每倳嬖谝欢ǖ姆艢馀c漏氣，若放氣與漏氣量為Q，則在晶振處的很低壓強(qiáng)應(yīng)為P=Q/S，Q為晶振處的放氣與漏氣量，S為經(jīng)過細(xì)長管道后晶振處的有效抽速。實(shí)驗(yàn)測得經(jīng)細(xì)長管道后很低指示壓強(qiáng)為10Pa，這對測量大于0.2kPa壓強(qiáng)管道引起了下限的增加，對測量并無很大影響。石英真空計用于大于0.2kPa壓強(qiáng)，測量精度約為15%。

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