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渦輪分子泵的工作原理，結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國(guó)外多利用干式機(jī)械泵作其前級(jí)泵，進(jìn)口ULVAC分子泵維修改造，構(gòu)成無(wú)油的真空系統(tǒng)。目前國(guó)內(nèi)渦輪分子泵多以油封機(jī)械泵為其前級(jí)泵，構(gòu)成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽返流，對(duì)真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國(guó)內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗(yàn)。

應(yīng)用：當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來(lái)越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。

很近十幾年來(lái)，ULVAC分子泵維修方案，渦輪分子泵，在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下，江門ULVAC分子泵維修，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級(jí)泵。針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S，轉(zhuǎn)速很高90，000rpm，極限真空很大1E-11mbar，對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比，實(shí)踐證明渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到100，000小時(shí)!分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用，推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應(yīng)用>>

分子泵故障：1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？原因：附近有光照或其他熱源解決方法：避免光照或熱源2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問(wèn)油為什么發(fā)黑？或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑？原因：冷卻不良，負(fù)載太大解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)

分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋？原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠解決方法：檢查系統(tǒng)4、分子泵軸承為什么會(huì)燒毀原因：①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過(guò)熱③沒有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵解決方法：①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵

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噪音測(cè)試通過(guò)在以下12種不同運(yùn)行狀態(tài)和方向下對(duì)一批泵進(jìn)行一系列測(cè)試，來(lái)驗(yàn)證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運(yùn)行狀態(tài)下，168次測(cè)量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測(cè)試通過(guò)對(duì)帶包裝的泵進(jìn)行測(cè)試來(lái)驗(yàn)證包裝性能，在測(cè)試時(shí)，ULVAC分子泵維修養(yǎng)護(hù)，使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運(yùn)輸過(guò)程中不會(huì)因跌落或運(yùn)輸而損壞。

無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導(dǎo)體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門與應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)科學(xué)，在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中，分子泵作為很多半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件之一，廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。

下面小編就帶您走進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，并一起探索分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體材料及設(shè)備，其中真空產(chǎn)品主要在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用；中游半導(dǎo)體制造的是集成電路制造，包括IC設(shè)計(jì)、IC制造以及IC封測(cè)；下游的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域眾多，半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的行業(yè)是通信及智能手機(jī)、PC/平板、工業(yè)/。

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