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磁場(chǎng)屏蔽出現(xiàn)的問(wèn)題

旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問(wèn)題：①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來(lái)越小，造成碎片；②、轉(zhuǎn)子溫升過(guò)大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；③、由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置，造成碎泵。分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

分子泵啟動(dòng)的條件：①、啟動(dòng)條件：連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度②、啟動(dòng)時(shí)間：?jiǎn)?dòng)——小系統(tǒng)，防前級(jí)泵油上返。延遲啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過(guò)大，先啟動(dòng)前級(jí)泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時(shí)，啟動(dòng)分子泵。從逆擴(kuò)散型檢漏儀的檢漏過(guò)程出發(fā)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)討論分子泵轉(zhuǎn)速對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)結(jié)果的影響，并分析產(chǎn)生這種結(jié)果的原因。

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。分子泵是獲得高真空和超高真空的關(guān)鍵設(shè)備之一。它被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門。它操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)各種氣體的有效抽速幾乎不變，對(duì)分子量高的氣體壓縮比高，可以獲得清潔無(wú)油的高真空和超高真空環(huán)境。

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在潤(rùn)滑方面，配備一種新型潤(rùn)滑劑，具備更高的抗老化性、更優(yōu)化的潤(rùn)滑性能和更強(qiáng)的耐熱性，提升真空泵組的安全性能，各款泵均可免維護(hù)運(yùn)行5年。渦輪分子泵應(yīng)用于鍍膜機(jī)渦輪分子泵應(yīng)用于鍍膜生產(chǎn)線，客戶某透明玻璃投射電容技術(shù)元件及模組生廠商，產(chǎn)品玻璃觸控模組，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)中.愛發(fā)科渦輪分子泵1500U配置于該企業(yè)鍍膜生產(chǎn)線中.

渦輪分子泵1500U技術(shù)參數(shù)

壓縮比

Ar:>1X108

H2:6X103

He:2X105

N2:>1X108

抽速

Ar:1350l/s

H2:1150l/s

He:1350l/s

N2:1400l/s

進(jìn)氣口

DN250-ISO-K

極限真空重量

29KG

渦輪分子泵1500U抽速:渦輪分子泵1500對(duì)各種氣體均有高抽吸能力，高工藝適用性，防止進(jìn)入顆粒.集成驅(qū)動(dòng)電路，適用于工業(yè)環(huán)境，通過(guò)保護(hù)等級(jí)IP54.帶有氣體密封閥24VDC的集成型氣體密封系統(tǒng).渦輪分子泵1500搭配控制器TC1200，通訊接口RS-485，ULVACUTM-480FW分子泵W維修，遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet型號(hào)供選擇），多種配件供客戶選擇.

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我國(guó)是世界很大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)，但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低，尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面，存在較大國(guó)外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過(guò)程部件——磁懸浮分子泵，長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。面對(duì)“卡脖子”問(wèn)題，公司積極響應(yīng)國(guó)家需求，承擔(dān)科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項(xiàng)中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，于2011年成功研制國(guó)內(nèi)臺(tái)磁懸浮分子泵，打破國(guó)外產(chǎn)品壟斷。

公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵，以其優(yōu)越的性能，已廣泛應(yīng)用于工業(yè)過(guò)程、鍍膜等領(lǐng)域，為半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化注入新活力。未來(lái)，公司將繼續(xù)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，全力突破“卡脖子”技術(shù)難題，推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化，為中國(guó)集成電路發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。

現(xiàn)今，越來(lái)越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。渦輪分子泵與油擴(kuò)散泵相比具有啟動(dòng)快，有機(jī)蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng)，檢漏儀不用液氮冷阱，質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高，并且延長(zhǎng)離子源的使用壽命.

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