潽拓——二手Edwards 分子泵，分子泵

EDWARDSSTP-iXA3306CV分子泵維修，愛德華分子泵保養(yǎng)

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廣州潽拓，EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢

占地面積小且重量輕 - 作為可用的工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

受zhuanli保護(hù)的泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非?？煽?-EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長了泵的使用壽命。

運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

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維修愛德華EdwardsnEXT200200D質(zhì)譜分析設(shè)備泵保養(yǎng)

廣州潽拓—Edwards EXT 渦輪分子泵和復(fù)合分子泵提供可靠的、無碳?xì)浠衔锏母哒婵蘸统哒婵铡XT使用多級(jí)軸流式渦輪機(jī)以及磁性陶瓷軸承，可為高臨界前級(jí)線路壓力制程提供無油、無振動(dòng)的操作，將維護(hù)需求降至低。Edwards愛德華nEXT200200D分子泵維修，EdwardsnEXT200200D英國愛德華渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口LF100/IOS100，出氣法蘭口KF25，抽速200L/S，對(duì)應(yīng)的控制器為Edwards EXDC160/Edwards EXDC80。