噪音與振動 ：從使用經(jīng)驗來看，泵會出現(xiàn)振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現(xiàn)的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態(tài)，Zui大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產(chǎn)的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產(chǎn)生的Zui大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉(zhuǎn)很平穩(wěn)，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

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等待質(zhì)譜腔內(nèi)氣壓恢復至常壓后拆下真空系統(tǒng)與質(zhì)譜腔體之間的連接管路。注意：如果質(zhì)譜剛關(guān)機內(nèi)部有負壓，一定要先從機械泵與質(zhì)譜聯(lián)接的波紋管拆開，將氣壓恢復至常壓后才能拆下連接部件，否則有可能將連接部件的O型圈吸入質(zhì)譜腔體或分子泵，我們在拆卸時出現(xiàn)過這個問題。