英國EDWARDS愛德華IH600干式真空泵維修保養(yǎng)

IH真空泵采用了獨特的螺桿技術以及世界的驅(qū)動技術，實現(xiàn)了的溫度控制和超長的維間隔以及同類產(chǎn)品中佳的抽氣性能，確保您長期享有低廉的運行成本。

iH600 Edwards半導體干式真空泵功能和優(yōu)勢優(yōu)化了設施消耗。無需預防性維護。

懸臂軸和的異型轉子便干顆粒的處理。

在節(jié)省電機功率的大程度提高了工作繁重的CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。

整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。