正確維護(hù)保養(yǎng)純水處理設(shè)備的重要性解析

在晶體管、集成電路生產(chǎn)中，純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，反滲透純水設(shè)備生產(chǎn)廠家，部分設(shè)備的冷卻水，配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片，水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良，重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低，Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化，反滲透純水設(shè)備價(jià)錢，Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化，水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)镹型硅而導(dǎo)致器件性能變壞，水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面，就會(huì)引起電路短路或特性變差。

我們都知道水中除了含有大量無機(jī)物離子還有大量的微生物，特別是地表水，其微生物含量非常高。如果我們使用天然水作為超純水生產(chǎn)設(shè)備的原水時(shí)，會(huì)有大量的微生物進(jìn)入到反滲透系統(tǒng)中，設(shè)備工作環(huán)境溫度一般在20攝氏度到40攝氏度之間，這一溫度下非常適合微生物的生長(zhǎng)，微生物在這個(gè)環(huán)境下會(huì)快速繁殖生長(zhǎng)，使其含量達(dá)到一個(gè)很高的水平。隨著微生物含量的增加就會(huì)出現(xiàn)生物污堵問題。對(duì)于生物污堵問題，反滲透純水設(shè)備廠家，我們要在預(yù)處理環(huán)節(jié)對(duì)原水進(jìn)行一定處理，使進(jìn)入超純水生產(chǎn)設(shè)備的微生物含量盡量減少，我們也要定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行殺毒滅菌處理。我們?cè)谑褂贸兯a(chǎn)設(shè)備時(shí)一定要注意設(shè)備污堵問題，避免因污堵嚴(yán)重導(dǎo)致設(shè)備無法使用，給用戶造成經(jīng)濟(jì)損失。

超純水設(shè)備的使用

離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的，可去除水中的各種陰、陽(yáng)離子，是目前制備超純水工藝流程中的手段。離子交換器分為陽(yáng)離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過離子交換柱時(shí)，滁州純水設(shè)備，水中的陽(yáng)離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽(yáng)樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進(jìn)行交換，從而達(dá)到脫鹽的目的。陽(yáng)、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達(dá)到更高的要求，生產(chǎn)出達(dá)到更高標(biāo)準(zhǔn)的超純水。