配合不同探測器的選擇，使Sigma 廣泛地適用于您的應(yīng)用：無論是正在開發(fā)的新材料、用于質(zhì)量檢查的顆粒還是生物或地質(zhì)標本，該電鏡可助您研究各種樣品。在極端條件下，利用可變壓力（VP）成像，借助NanoVPlite，即使在低電壓下，也能在非導(dǎo)體上獲得出色的圖像和分析結(jié)果。

掃描電鏡圖像的形成需要各個系統(tǒng)相互配合，電子光學系統(tǒng)為掃描電鏡提供的電子束，信號探測系統(tǒng)將電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號進行采集與處理。電子光學系統(tǒng)內(nèi)容請參考往期文章，本篇主要對掃描電鏡的信號探測系統(tǒng)進行介紹。

真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。
真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。