PARKER氣動(dòng)隔膜閥PV-20系列

PARKER氣動(dòng)隔膜閥PV-20系列是PTFE泥漿閥為腐蝕性化學(xué)品和磨蝕泥漿介質(zhì)提供特殊密封。閥門大限度減小粒子的生成，用于半導(dǎo)體制造和潔凈區(qū)域應(yīng)用。
PARKER氣動(dòng)隔膜閥PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物氣動(dòng)隔膜閥，用于半導(dǎo)體和潔凈區(qū)域應(yīng)用中控制研磨性泥漿介質(zhì)和腐蝕性流體。閥門的流路設(shè)計(jì)大限度降低產(chǎn)生的壓降，允許較低的上游壓力需求，改進(jìn)流體動(dòng)力學(xué)。閥門有2通和3通型，三種通徑尺寸(1/4", 1/2",和1")。接口尺寸范圍：1/4" - 1-1/4" ,連接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
PV-20系列泥漿閥閥體由初級(jí)形態(tài)純聚四氟乙烯制成，具有更好的耐化學(xué)性。這個(gè)，再加上改性聚四氟乙烯隔膜，使閥門具有良好的柔韌性和高循環(huán)壽命，高壓力100 psig。閥門本身也非常緊湊，使操作者能夠保護(hù)潔凈室和次潔凈區(qū)。
PV-20系列的角形和圓形流路，加上一個(gè)開(kāi)放和橫掃碗形狀圍繞其隔膜，大限度地減少湍流并消除可以引起流體剪切尖角。減少了顆粒截留，提供更高的防腐蝕保護(hù)。
總的來(lái)說(shuō)，閥門的設(shè)計(jì)使其特別適合處理磨蝕和腐蝕性泥漿流體，比如那些存在于受雇于半導(dǎo)體制造的CMP (化學(xué)機(jī)械平坦化或化學(xué)機(jī)械拋光)工藝的 。PV-20系列也適用于廣泛的其他潔凈區(qū)處理及分析應(yīng)用，比如控制酸、化學(xué)品和去離子水的流量。
市場(chǎng):半導(dǎo)體，分析試驗(yàn)室，制藥，生物制藥，航空航天，工業(yè)
PARKER氣動(dòng)隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì):
1.的耐腐蝕性
2.均勻分布的閥座密封力小化隔膜和閥座應(yīng)變，穩(wěn)定閥門背壓能力
3.膜片厚度大，大限度地減少潛在的滲透，同時(shí)大限度提高循環(huán)壽命
4.用在開(kāi)環(huán)系統(tǒng)中腐蝕性流體時(shí)，自排水設(shè)計(jì)有助可靠性
5.符合 SEMI-F57-0301關(guān)于聚合物元件的標(biāo)準(zhǔn)
6. 環(huán)境溫度范圍:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
7.流體溫度范圍:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
8.壓力范圍：真空到100 psig

應(yīng)用:半導(dǎo)體工具，工具掛鉤，泥漿和腐蝕性化學(xué)品分配系統(tǒng)，去離子水
PARKER氣動(dòng)隔膜閥性能特點(diǎn)：
濕性材料：PTFE, 改性 PTFE
不濕潤(rùn)的材料：PVDF, 氟橡膠, PTFE涂層不銹鋼彈簧
壓力范圍：27" HG 汞柱真空 (913 mbar) - 80 psig (5.5 bar) (1/4" 通徑) 27" HG 汞柱真空 (913 nbar) - 100 psig (7 bar) (1/2" 通徑) (1" 通徑)
驅(qū)動(dòng)壓力：60 psig (4.1 bar) - 80 psig (5.5 bar)
高外界溫度（C)：66°C
高外界溫度（F)：150°F
低環(huán)境溫度(C)：-17°C
低環(huán)境溫度(F)：0°F
大流體溫度（c)：130°C
流體溫度（F)：266°F
小流體溫度（C)：-17°C
小流體溫度（F)：0°F
端口連接2（英寸）：1/4" Parflare, 3/8" Parflare, 1/2" Parflare, 3/4" Parflare, 1" Parflare, 1-1/4" Parflare
流體容量(Cv)：Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5
流量因子kv(l /mn)：Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9