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德國WIKA壓力傳感器威卡WUD-20, WUD-25高純傳感器半導(dǎo)體和光伏行業(yè)4-20mA
應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
產(chǎn)品特性
壓力測量0.15 % RSS
的長期穩(wěn)定性
信號降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測量
主動溫度補(bǔ)償
描述
可靠
WUD-2x系列高純傳感器將的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合，能夠為當(dāng)前市場需求提供安全、準(zhǔn)確的壓力測量。
基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術(shù)，確保了壓力測量以及的長期穩(wěn)定性。
主動溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
配備2個可編程開關(guān)輸出，可針對具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。
WUD-20, WUD-25, WUD-26 WUD-20, WUD-25 測量范圍 psi 30 60 100 160 250 350 500 1,000 1,500 2,000 3,000 5,000 MPa 0.2 0.4 0.7 1.1 1.7 2.5 3.6 7 10 14.5 22.5 36 過載安全 psi 120 120 210 320 500 750 1,100 2,100 3,000 4,200 6,600 10,000 爆破壓力 表面處理 psi 1,800 1,800 2,200 2,600 4,800 6,200 7,400 8,000 10,500 10,500 10,500 10,500 其他要求的測量范圍和單位（如MPa、kg/cm2） 壓力：0 ...0.2 MPa to 0 ...6 MPa 真空壓力：-0.1...0.1 MPa 至 -0.1...25 MPa 測量原理 金屬薄膜傳感器 材料 接液 外殼 艙內(nèi)氦泄漏試驗 <1> 5 kΩ DC 0 ...10 V，3 線，RA > 10 kΩ 電源 P 值 1 W 電流消耗 值 50 mA 總電流 消耗 250mA，包括開關(guān)電流 零點可調(diào) 量程的 -3.5 ... +3.5 %（通過電位計）電流輸出信號 量程的 -2.0 ... +3.5 %（通過電位計）電流輸出信號 信號響應(yīng) (10 ...90 %) ≤ 300 ms 開關(guān)點 可通過外部控制鍵單調(diào)節(jié) 類型 數(shù)量 功能 開關(guān)電流 準(zhǔn)確度 晶體管開關(guān)輸出 NPN 1或 2 常開、常閉、開、關(guān) SP1 / SP2: 100 mA ≤ 量程 0.5 % 顯示 版本 7 段 LED，紅色，4 位，高度 8 mm，270°可旋轉(zhuǎn) 準(zhǔn)確度 ≤ 量程1.0 % ±1 位 更新 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s（可調(diào)節(jié)） 準(zhǔn)確度 ≤ 量程 0.15 %（≤ 0.4 %，測量范圍 ≤ 0.2 MPa）RSS（和的平方根） ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) ，測量范圍 ≤ 0.2 MPa） 非線性 ≤ 量程 0.1 %（≤ 0.15 %，測量范圍 ≤ 0.2 MPa）(BFSL)，根據(jù) IEC 61298-2 滯后 ≤ 量程 0.14 % 不重復(fù)性 ≤ 量程 0.12 % 年穩(wěn)定性 1) 包括非線性精度、回差、零點偏移和滿量程偏差（與根據(jù) IEC 61298-2 測得的誤差值對應(yīng)）。 ≤ 量程 0.25 %（典型值），基準(zhǔn)條件下（≤ 0.4 %，測量范圍 ≤ 0.2 MPa） 規(guī)
德國WIKA壓力傳感器威卡WUD-20, WUD-25高純傳感器半導(dǎo)體和光伏行業(yè)4-20mA
