脫硫系統(tǒng)石河子氬氣回收帶純化系統(tǒng)
氬氣回收工作原理:氬氣是大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)制取單晶硅的主要保護(hù)氣,是生產(chǎn)和控制經(jīng)營成本重視的一個重要方面。將排出含有粉塵雜質(zhì)的氬氣除去固體雜質(zhì),經(jīng)緩)沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓,經(jīng)氬氣純化設(shè)備。后將凈化后的氬氣送入使用地點.設(shè)備的回收率為90%,氬氣純度可以達(dá)到99.999%以上。
氬氣在空氣中含量低(僅0.93%),通常作為副產(chǎn)物從空分制氧過程中分離提取,高純氬氣生產(chǎn)成本較高。高純氬氣(純度>99.999%)是單晶硅和多晶硅制備過程中的凈化和保護(hù)氣。國外氬氣凈化回收技術(shù)昂貴,且產(chǎn)能規(guī)模有限。因此,研發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的低成本、高產(chǎn)能氬氣凈化回收技術(shù)成為亟待解決的任務(wù)。

氬氣純化循環(huán)是將排出含有雜質(zhì)的氬氣,除去固體雜質(zhì),經(jīng)緩沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓,,經(jīng)氬氣純化設(shè)備的過程。
原理:
將排出含有雜質(zhì)的氬氣,除去固體雜質(zhì),經(jīng)緩沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓,,經(jīng)氬氣純化設(shè)備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑,在一定溫度下,吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體,從而達(dá)到對氬氣精制的目的。將凈化后的氬氣送入使用地點。

氣體回收循環(huán)再利用系統(tǒng),可廣泛應(yīng)用于有色金屬行業(yè),諸如銅板帶光亮退火、銅管退火、鋁板材退火處理等,在黑色行業(yè)中如帶鋼、不銹鋼帶的罩式爐退火、連續(xù)爐退火、鍍鋅線等,金屬粉末的還原爐中,輪胎硫化機(jī)中等,都有廣泛的應(yīng)用前景。

一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。
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