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渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

（1）抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系抽速與轉(zhuǎn)速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數(shù)；u是活動刀片的轉(zhuǎn)速。隨著速度的增加，泵送速度比直線略慢。這可以通過在抽速較高時對進氣管電導率的限制來解釋。根據(jù)（4-66），隨著S1的增加，S將偏離直線。

（2）泵送速度與入口壓力之間的關(guān)系在分子流的壓力范圍內(nèi)，分子泵的泵送速度幾乎沒有變化。因為分子電導C與分子流動過程中的壓力無關(guān)；根據(jù)公式（4-65），S1僅確定葉片形狀，速度和氣體類型，并且與壓力無關(guān)。根據(jù)公式（4-66），實際抽速與壓力無關(guān)。當增加壓力以不滿足分子流動條件（大約2×101Pa）時，由于大多數(shù)分子無法直接與葉片碰撞，泵速會迅速降低。如圖4-62的右側(cè)所示，曲線1、2和3對應于壓縮比與不同前級泵

（3）的速度和相對分子質(zhì)量之間的關(guān)系。壓縮比與速度的平方根和相對分子質(zhì)量成指數(shù)關(guān)系（G（4-68在公式中，G是由幾何形狀確定的參數(shù)。測量結(jié)果與公式基本一致。圖4-63顯示壓縮比，其中：p代表前級泵端口的壓力和力，代表分子，泵的入口壓力，在相同速度下，大的氣體分子具有大的壓縮比，高的極限真空，輕質(zhì)氣體成分，壓縮比小，極限真空低，即輕質(zhì)分子主要處于分子泵的極限真空中；除去氫，氦等輕質(zhì)分子的能力較弱。重量具有較高的壓縮比，這是渦輪分子泵可用于獲得清潔真空的物理基礎

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近日，真空推出了一款新型渦輪分子泵，便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長，采用了該公司開發(fā)的一項技術(shù)，使得真空設備更加耐用，振動水平更低，噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來講，通過分配幾何確定的動平衡孔和漸近的動平衡配重法，利用激光燒蝕把多余的材料去除，如此一來，轉(zhuǎn)子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點位逐個進行的處理，來達到很佳的動平衡性。

與傳統(tǒng)動平衡相比，用激光去除材料要準確得多，剩余不平衡會更低。在這個過程中，材料特性并不會受到影響?？梢哉f，改變了傳統(tǒng)的動平衡過程，二手ULVAC分子泵維修改造，將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統(tǒng)動平衡（左）和采用激光燒蝕段的激光動平衡（右）動平衡等級對比.據(jù)了解，通過現(xiàn)代化的自動平衡系統(tǒng)，渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的動平衡品質(zhì)提高了20%，從而大幅提高轉(zhuǎn)子壽命，并降低泵在運行期間的振動和噪音水平。

值得一提的是，進口ULVAC分子泵維修，激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒，在加工過程中即可抽出和過濾掉，隨后對激光平衡后的轉(zhuǎn)子進行清潔，由于無需手動擰緊螺絲，確保了表面的很高清潔度，并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現(xiàn)象。用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求，尤其是在需要更低振動和靜音的應用中，ULVAC分子泵維修升級，該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗。

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ARPES光束線客戶案例:某光源ARPES光束線真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分，只有在真空環(huán)境中運行，光學元件才能夠?qū)⑼捷椛涔鈧鬏數(shù)皆囼炚?，真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度，保證光束線的穩(wěn)定運行.此系統(tǒng)搭配愛發(fā)科分子泵80，汕頭ULVAC分子泵維修，及配套真空規(guī).

真空系統(tǒng)要求(分子泵):

1.靜態(tài)真空(無束流):5x10-8Pa，動態(tài)真空(有束流):

2.真空系統(tǒng)基本配置:離子泵+無油分子泵+冷陰極真空規(guī)管+氣體分析儀超高真空系統(tǒng)配置:

渦輪分子泵

接口:DN100CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011殘余氣體分析儀PrismaPro

質(zhì)量數(shù):1-300amu

四極桿直徑／長度:6/125mm

很大工作壓力FhPa:5X10-4

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S，轉(zhuǎn)速很高90，000rpm，極限真空很大1E-11mbar，對小分子氣體具有更高的壓縮比，實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100，000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用，推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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