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渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個方面：壓縮比與前一階段壓力之間的關(guān)系泵選擇機(jī)械泵作為前級泵。當(dāng)當(dāng)前級壓力滿足一定要求時，分子泵穩(wěn)定工作，減壓比保持恒定。如圖464所示，當(dāng)當(dāng)前級壓力升至1Pa時，子壓縮比開始降低，而當(dāng)當(dāng)前級壓力升至數(shù)十帕斯卡時，壓縮比急劇下降，分子泵無法正常工作。

抽速與氣體類型之間的關(guān)系。所示的關(guān)系是，該變化比直線稍慢。這是因為，在旋轉(zhuǎn)速度下，P較大的氣體具有較大的速度比，葉片的Hoe系數(shù)較大，它們在進(jìn)氣管中的電導(dǎo)率是由于增加和減少。渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。

渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

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傳統(tǒng)的產(chǎn)品設(shè)計和開發(fā)過程，常被當(dāng)作是研制產(chǎn)品的一個步驟，因為產(chǎn)品的設(shè)計者不可能對上市時間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護(hù)性等全盤掌握，使用傳統(tǒng)過程設(shè)計的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時不可避免地需要進(jìn)行反復(fù)修改。產(chǎn)品生命周期設(shè)計方法通過提議、調(diào)查、實驗室原型、生產(chǎn)原型、試運(yùn)行和量產(chǎn)六個步驟來推動和設(shè)計過程，

在這些設(shè)計過程推進(jìn)時，采用各種各樣的測試和多個部門參與的交互式討論和分析來決定產(chǎn)品設(shè)計方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測試。為了驗證各種不同的設(shè)計，執(zhí)行了遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的大量測試，在量產(chǎn)之前陸續(xù)生產(chǎn)了多達(dá)1000余臺樣泵，對各項結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行測試和分析，很終產(chǎn)品定型時，僅選用了結(jié)果很佳的結(jié)構(gòu)和方案。

擴(kuò)展測試

壽命測試在通過對有統(tǒng)計學(xué)意義數(shù)量的泵進(jìn)行加速壽命測試（長時間暴露于加速損壞的條件下），ULVACUTM800FW分子泵保養(yǎng)，對泵的可靠性進(jìn)行驗證。該測試可確保泵無故障運(yùn)行的平均時間超過五年。

沖擊測試對一批泵在運(yùn)行和非運(yùn)行條件下進(jìn)行一系列測試，證明泵的抗沖擊性。每個泵受到30–120g的加速度，相當(dāng)于從82厘米/32英寸高跌落（處于非運(yùn)行狀態(tài)的泵）和從15厘米/6英寸高跌落（處于運(yùn)行狀態(tài)的泵）。

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許多設(shè)備在工作時都會產(chǎn)生磁場，比如，家用電冰箱的磁場強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá)3T；可以采取屏蔽等措施，仍然可能會有外漏的雜散磁場，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當(dāng)渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子在磁場中旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，并導(dǎo)致電機(jī)的功率增大。

由于泵轉(zhuǎn)子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。轉(zhuǎn)子可能會過熱，泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認(rèn)磁場對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設(shè)計并執(zhí)行了下面的測試：測試條件和裝置被測分子泵的型號為TwisTorr304FSCFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至1E-3mbar以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用20℃的冷卻水對分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會自動調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

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