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EDWARDSEPX180L半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修
愛德華EPX180真空干泵
EdwardsEPX 系列支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用,如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能,可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵采用已獲zhuanli的單軸再生 Holweck® 分級(jí)機(jī)構(gòu),能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能,既可集成到制程工具,可以遠(yuǎn)程安裝。重量43.5KG。
潽拓——二手Edwards分子泵,分子泵
EdwardsPVMK是一種快動(dòng)式直線或直角杠操作閥。杠杠與自潤滑的塑料凸輪活塞相連,通過PTFE軸承促動(dòng)閥杠和閥板。閥板O型圈槽進(jìn)行排氣以避免氣爆。閥設(shè)計(jì)為可在10-9mbar/8*10-10Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的壓力范圍內(nèi)運(yùn)行。
愛德華茲pv40mk真空停止閥
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愛德華BOCEdwardsIPX100真空泵,二手Edwards 分子泵報(bào)價(jià),二手分子泵維修
廣州潽拓光電科技堅(jiān)持如下的服務(wù):
1.堅(jiān)持使用巴頓陶瓷軸承保證。
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